真空关键零组件
旋转圆柱阴极
- 靶材长度：300~2000 mm
- 背管直径：OD 133 mm
- 背管厚度：4 mm
- 靶材厚度：6~12 mm
- 靶材利用率：陶瓷靶 >70%；金属靶 >80%
- 均匀性：±5%
- 靶材回转速：3~15rpm
- 可靠度运转测试：500万~1000万次
单臂型旋转圆柱阴极
- 靶材长度：300~3000 mm
- 背管直径：OD 170 mm
- 背管厚度：9 mm
- 靶材厚度：6~12 mm
- 靶材利用率：陶瓷靶 >70%；金属靶 >80%
- 均匀性：±5%
- 靶材回转速：3~15rpm
- 可靠度运转测试：500万~1000万次
DC平面阴极
- 额定功率：≦ DC100 KW
- 电压电流：≦ 1000V/225A
- 靶材长度：≦ 2000mm
- 漏率：<1*10-9 bar*l/s
- 靶材利用率：≦ 40%
- 均匀性：±3%
MF平面阴极
- 额定功率：≦ AC80 KHz
- 电压电流：≦ 1000V/225A
- 靶材长度：≦ 2000mm
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 靶材利用率：≦ 30%
- 均匀性：±3%
扫描式磁控阴极
- 额定功率：≦ DC100 KW
- 电压电流：≦ 1000V/225A
- 靶材长度：≦ 2000mm
- 漏率：<1*10-8 bar*l/s
- 靶材利用率：≦ 40%
- 均匀性：±3%
离子源
- 漏率：<1.2*10-9 bar*l/s
- 使用温度：200度C以内
- 制程气体： Ar、O2、Ar+O2
- 最大操作压力：~2 mtorr
- 气体流量：20– 200 sccm
- 均匀磁场设计
红外线加热器
- 可红外线加热温度高达1200度C
- 温度控制精确5度C以内
阻丝加热器
- 多盘式独立控制，确保全区均温性
- 可红外线加热温度高达800度C
- 实时反馈PID控制精确度 ± 1.5度C
水平式阀门
- 开口尺寸：客制化
- 作动时间：2秒内
- 本体材质：304不锈钢
- 阀板：6061-T6铝
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 阀盖/闸/轴密封：Viton
单腔垂直式阀门
- 开口尺寸：客制化
- 作动时间：2秒内
- 本体材质：304不锈钢
- 阀板：6061-T6铝
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 阀盖/闸/轴密封：Viton
双腔垂直式阀门
- 开口尺寸：客制化
- 作动时间：2秒内
- 本体材质：304不锈钢
- 阀板：6061-T6铝
- 漏率：< 1*10-9 bar*l/s
- 阀盖/闸/轴密封：Viton
Carrier基片架
- 取放片机构不需使用弹片夹持。
- 无需制作专用sub carrier
- 多种Carrier尺寸设计，允许27”~44”基板的镀膜。
- CRS搭配多轴ROBOT，上下片迅速、稳定。
- 吸嘴吸片为非接触式