竞争优势

技术团队能力

  • 十五年以上的服务团队
  • 迅速反馈维修状况迅速反馈维修状况
  • 客制化服务、可弹性运用
  • 优良设备质量、稳定性
  • 组装测试技术
  • 仿真提供相关技术数据供参考
  • 设计预先检测,缩短作业时间
  • 客制化提供相关技术图面数据
  • 快速发行版控管
  • 3D绘图解析图面

3D绘图设计

  • 机构3D绘图软件设计
  • 高效率传送载台挂片设计
  • 设备快速维护,提升稼动率
  • PDM版本控管

工程仿真

  • 腔体应力场模拟
  • 电热管温度场仿真
  • 流场模拟
  • 磁场模拟

人机图控/PLC

  • 客制化软件硬件设计规划
  • 整合客户端生产管理系统 人机图控系统操作简易 专业电路设计及配线组装 系统模块化设计规划,扩充性佳

自动化整合技术

  • 自动化搭配整合,达到稳定高效生产高稼动率
  • 信息整合透过通过XML服务和网络架构,并采集PLC数据库,让所有设备能有效的自动控制
  • 更新在线生产信息,并通过使用多个计算器控制生产运行
  • 定期教育训练,快速累积经验

制程工艺技术

  • 半导体金属氧化物金属EMI镀膜制程
  • 光学PVD镀膜制程
  • Touch panel PVD镀膜制程
  • Low E PVD镀膜制程
  • 太阳能电池PECVD、PVD、LPCVD蒸镀、溅镀制程
  • 电致变色PVD镀膜制程

制程工艺技术

半導體金屬氧化物、金屬及EMI鍍膜製程

  • 抗电磁干扰EMI散热Metal  PVD镀膜制程与设备技术
  • Metal镀膜材料可使用Ti、Ag、Cu、Al…等
  • 金属氧化物镀膜材料可使用SiO2、TaO、TaN、LNO、SiNx…等
  • 基板除金属硬壳使用外亦可选用柔性板、ABF、铝箔、PET、PI…等

光學PVD濺鍍製程

  • 光通讯滤波远红外、绿色滤光片镀膜制程,使用IBS (Ion Beam Sputter),搭配光学实时监控(Real Time Monitor)可镀膜AR数十至百层结构
  • AR(Anti-Reflection Glass)高透减反射镀膜制程与设备技术(可搭配单面或双面镀膜)
  • AR光学膜层以高折系数材料Nb2Ox为主,搭配低折材料SiO2依客户光学规格(T%、R%、Lab*)选择2层AR、4层AR、6层AR
  • 滤蓝光镀膜制程与设备技术(可应用汽车后照镜HUD)

Touch Panel PVD制程

  • ITO制程与设备技术 for TPS(电阻式、电容式电极)
  • 适用于玻璃基板或可挠式基板
  • 可搭配Nb2Ox/SiO2光学膜层调整消影效果(Index match layer for low b*)
  • 金属电极制程(metal layer Mo/AL/Mo、Cu)

电致变色PVD制程

  • EC电致变色的阴极变色层(WO3、Nb2Ox..)与阳极变色层(NiOx)、透明导电层(ITO)制程与设备技术(搭配In-line PVD or Roll to Roll PVD)
  • PDLC高分子液晶电致变色的透明导电层ITO镀膜制程与设备技术(搭配In-line PVD or Roll to Roll PVD)

太阳能电池PECVD、PVD、LPCVD蒸镀、溅镀制程

  • PVSK钙钛矿高效能电池镀膜制程(In-line PVD and RPD)
  • 单晶HIT PECVD+ITO PVD制程与设备技术(Cluster PECVD and In-line Double Side Coating Design)
  • 高效率PECVD制程与设备技术
  • 薄膜太阳能电池前电极(i-ZnO/BZO、AZO)制程与设备技术(可提供LPCVD、PVD量产设备)
  • 薄膜太阳能电池背电极(AZO、AL、Ag、NiCr…)制程与设备技术(依solar cell单结、双结制程搭配选择)
  • CIGS薄膜太阳能电池PVD制程与设备技术(可提供Mo、CuGa、In… PVD量产设备

Low E PVD制程

  • 单银、双银、三银镀膜制程与设备技术(可选择有无钢化结构)
  • 一条龙连续式溅镀系统,在单一设备可完成Low E玻璃所有膜层(Ag、NiCr、SnO2、SiNx….等)。
  • 可见光高透光率、红外线区段高反射率达到高热阻绝与环保节能的要求。

质量保证

真空测漏检测

  • 漏率测试 < 1.0 X 10-9 mbar.ltr/sec。
  • Pressure Risk Test 压升测试。
  • Base Pressure< 3.0 X 10-6 torr 底压测试。

水压检测设备

  • 腔室冷却水路需经过严格检验标准,以确保产品质量。
  • 检验标准压力为10Kg/cm2 ,持压超过 30 min。

阀门安全设计

  • 腔室间锁阀,O型圈密封,电磁操作,真空系统远程控制。
  • 光学位置指示器:开放式和封闭式。
  • 推杆和旋转模块的动作,在电源出现故障时封闭,保护真空 。

安全快拆设计

  • 设备连结水、气、电安全快拆断电设计,避免人员误触危险。
  • 检缩短保养维护设备时间,提升设备使用稼动率增加产值。

传动载具扩充性

  • 垂直式防尘夹片设计,可变换多种尺寸。
  • 水平式底部防刮设计,可变换多种尺寸。
  • 基板全面镀膜,没有无效边产生。

AI智能型实时监控

  • 在线troubleshooting。
  • 在线回馈生产讯息。
  • 及时回馈产品质量。